世界各國為生長大尺寸氮化鋁單晶,近50年來在晶體生長方法、生長工藝等方面作出了長期不懈努力,但研發進展非常緩慢。其中,物理氣相沉積法被公認為生長塊狀氮化鋁單晶的唯一方法,該方法也是生長大尺寸塊狀碳化硅單晶理想方法。盡管氮化鋁單晶和碳化硅單晶生長的基礎研究同時起步于20世紀70年代,而碳化硅單晶生長工藝進展迅速,目前國際上已成功研發并計劃量產直徑8英寸(200mm)碳化硅晶圓,但當前國際上有能力生長出直徑1英寸(25.4mm)氮化鋁單晶的科研機構及企業極其有限。由于氮化鋁單晶生長溫度高、生長條件非常苛刻,對氮化鋁單晶生長的設備、熱場及其控制系統提出了前所未有的挑戰。因此,國務院、國家工信部將氮化鋁單晶生長裝備列入《中國制造2025》綠皮書有待突破的關鍵國產化裝備......