在已知壓電材料中,AlN薄膜的SAW傳播速度是最快的,且AlN SAW器件具有良好的化學和熱穩(wěn)定性,以及對外界環(huán)境如壓力、溫度、應(yīng)力、氣體等具有極高的靈敏性,與常規(guī)傳統(tǒng)Si CMOS技術(shù)相兼容,因而成為無源傳感、無線傳 感和移動信號處理的關(guān)鍵部件。隨著最近十幾年來無線通信技術(shù)的飛速發(fā)展,SAW 傳感器、諧振器和濾波器在實現(xiàn)小型化、多功能和高性價比方面有望取代傳統(tǒng)半導體器件,成為未來復(fù)雜系統(tǒng)的核心技術(shù)。